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太赫兹近场扫描成像系统
太赫兹近场扫描成像系统产品简介
TeraCube Scientific 是一款全自动太赫兹近场扫描成像系统。
太赫兹近场扫描成像系统具备高效的宽带太赫兹脉冲光源，这些太赫兹脉冲可穿透平面样品。通过集成了近场探测器的 Protemics TeraSpike 微探针，能够在样品表面近场区域对太赫兹透射脉冲进行空间和时间分辨检测。
该太赫兹近场扫描成像系统具备以下核心功能：通过主动控制探测器与样品表面的距离，可对任意表面形貌进行测量。
并且太赫兹近场扫描成像系统可由客户现有或新购置的、符合适用规格的飞秒（fs）激光光源驱动。
太赫兹近场扫描成像系统技术参数
型号 | TeraCube Scientific | TeraCube M2 |
光谱范围 | 0.05 - 3 THz | 0.05 - 4 THz |
最大样品尺寸(x, y, z) | 20 cm, 20 cm, 1 cm | |
最大扫描速度 (x, y) | up to 100 mm/s | |
每像素点最小扫描时间 | 10 ms / Single TD position | 10 ms / Full TD Transient (5ps) |
最大扫描范围(x, y, z) | 18 cm, 18 cm, 3 mm | |
时域扫描范围 | 1000 ps | 5 .. 200 ps |
时域扫描分辨率 (dt) | 6.6 fs | 50 fs |
最小双向重复性 (x, y, z) | +-0.1 µm, +-0.1 µm, +-0.15 µm | |
最小扫描步进(dx, dy, dz) | 0.1 µm, 0.1 µm, 0.15 µm | |
太赫兹近场扫描成像系统应用领域
——> 太赫兹超材料（THz Metamaterial）研究与传感应用
——> 半导体晶圆检测
——> 薄层电阻成像
——> 石墨烯分析
——> 太赫兹器件表征
——> 微观结构分析
——> 无损检测
太赫兹近场扫描成像系统产品特点
——> 光学样品形貌检测，确保扫描时微探针与样品表面距离恒定
——> 同步运动控制与实时位置检测
——> 线偏振且可旋转的太赫兹发射器，用于偏振相关测量
——> 高性能太赫兹发射 / 探测组件
——> 高动态范围锁相检测（Lock-in detection）
——> 集成 CCD 摄像模块，用于监控微探针针尖与样品位置
——> 集成 PC 单元搭载系统控制与测量自动化软件
——> 软件实现的对准监控功能及系统健康检测电路
——> 软件辅助的微探针针尖 - 样品表面接近控制
——> 时域信号预览模式，用于快速光学对准
——> 数据可导出为纯文本或兼容 Matlab 的格式
——> 系统外壳，具备激光光束防护与防尘功能
——> 开放式可扩展实验室级系统平台
太赫兹近场扫描成像系统原理图
太赫兹近场扫描成像系统实测信号
太赫兹近场时域谱/频谱信号
样品1：二维材料
参考文献：Visualizing near-field coupling in terahertz dolmens
A. Halpin, C. Mennes, A. Bhattacharya, and J. Gómez Rivas
Appl. Phys. Lett. 110, 101105 (2017)
样品2：锗片衬底上的石墨烯
样品3：芯片封装检测